时间: 2026-01-16 14:08:26 | 作者: 云母加热器
专利摘要显现，本发明供给了一种温度操控办法、一种加热盘温控体系，以及一种计算机可读存储介质。所述温度操控办法包含以下过程：获取半导体加工设备的工况状况；响应于所述工况状况指示所述半导体加工设备未经加热丝电阻-温度曲线标定，选用榜首操控形式，经由设于所述半导体加工设备的加热盘的中心区域的热电偶进行测温，以对所述加热盘进行温度操控和加热丝电阻-温度曲线标定；以及响应于所述工况状况指示所述半导体加工设备现已经过所述加热丝电阻-温度曲线标定，选用第二操控形式，丈量所述加热盘中的加热丝的电阻，并结合所述加热丝电阻-温度曲线来对所述加热盘进行测温文温度操控。
天眼查资料显现，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司，成立于2023年，坐落沈阳市，是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。经过天眼查大数据分析，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司参加招投标项目26次，产业线条，此外企业还具有行政许可16个。
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